真空镀膜设备有哪些基本技术要求呢？尊龙凯时·(中国)人生就是搏镀膜来告诉您。

🅰 1、设备中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符💛合GB/T6070的规定。

2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管，分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时，应在测量口处安ဣ装电场屏ܫ蔽装置。

3、如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱

 4、设备的🍸镀膜室应设有观察窗，应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源🦂的工作情况以及其他关键部位。

5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率，提高镀膜材料的利用率，合理匹配沉积源的功率，合理布置沉积源在真空室体的位💙置。

6、合理布置加热装置，一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。

7、工件架应与真空室体绝缘，工件架的设计应使工件膜层均匀。

8ꦬ、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源，离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置，维持工作稳定。

9、真空室接不同电位的各部分间的绝缘电🌟阻🐎值的大小，均按GB/T11164-1999中的4.4.6

10、其他注意事项

1）环境温度：10-30oC

2）相对湿度：不大于75%

3）冷却水进水温度：不高于25oC

4）冷却水质：城市自来水或相当质量的水。

 5）供电电源：380V三相50Hz或220V单相50Hz(由所用ꦰ电器需要而定)；电压波动范围﷽：342-399V或198-231V；频率波动范围：49-51Hz。

6）设备所需的压缩空气，液氮，冷水、热水等的压力、温度，消耗量等，均应在产品使用说明书中写明。 ꦜ

7）设备周围环境整洁，空气清洁，不应有引起电器及其他金属件表面腐蚀或ಞ引起金属间🧜导电的尘埃或气体存在。

尊龙凯时·(中国)人生就是搏纳米科技（深圳）有限公司是一家专业从事以真空镀膜加工、离子镀膜加工服务为主的港资企业。